機械 / 半導体・自動化関連

外観検査装置

半導体製造の分野では、各工程を総合的に捉えた高度なワンストップソリューションを提供しています。

チップ部品外観検査装置

チップ部品外観検査装置

チップ部品の表面(4面/6面)を独自のソフトを用いて画像処理で判定
検査精度の安定性とワークへのダメージレスを考慮した装置設計

特長

  • 画像処理内容:キズ、カケ、汚れ、異物、寸法検出など
  • 画像処理速度:対象ワーク、画像処理内容によって異なります
  • 装置処理速度:Max5,000個/分

ウエハ外観検査装置

ウエハ外観検査装置

独自の検査機能「適応学習方式」を採用した外観検査装置

特長

  • 検査項目:汚れ、変色、異物、割れ、カケ、キズ
  • 適応学習ソフト:製品のバラつきによる誤判定を解消

外観検査装置に関することなど
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