機械 / 半導体・自動化関連
各種洗浄装置
半導体製造の分野では、各工程を総合的に捉えた高度なワンストップソリューションを提供しています。
超音波洗浄機
簡単に部品を洗浄
洗浄機と蒸留機付随の一体型装置
適応洗浄液
トルエン、MEK、シンナーなどの第一石油類、アルコール類など
洗浄槽サイズ
- 幅
- 500mm
- 奥行
- 250mm
- 高さ
- 300mm
用途
精密部品、ヘルール配管、電子部品、光学ガラス部品、プラスチック部品、自動車部品の洗浄・乾燥、 半導体部品のコーティング、 部品内の充填液の抽出など
有機溶剤洗浄機(有機溶剤回収装置)
各種製造工場から出る廃溶剤をリサイクル
各種製造工場の生産工程から排出される洗浄液(廃溶剤)にはさまざまな物質が含まれているため、廃棄物として処分しています。しかし、その中には、リサイクル可能な溶剤成分が含まれており、本製品を利用することで溶剤を取り出し、再利用できるようにします。
回収可能溶剤
廃シンナー、トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール、エタノール、メタノール、キシレン、酢酸ブチル、塩素系、フロン系、アセトン、MEK、MIBK、灯油、エチレングリコール系、炭化水素系洗浄剤、第二・第三石油類(一部、水性溶剤も可能)
※なお強酸性、強アルカリ性、水などは回収不可
スプレーシャワー洗浄機
インキ、塗料、顔料の付着した機器部品や印刷部品などの洗浄が可能
従来、手作業で洗浄していた部品を装置で洗えるため洗浄時間の短縮、人への負担が軽減。洗浄液は、付属の真空蒸留連続回収装置で再生可能です。
適応洗浄液
トルエン、MEK、シンナーなどの第一石油類、アルコール類など
用途
- 機器部品(備品、インキパン、調色容器など)に付着するインキ、塗料、顔料
- グラビア印刷会社における印刷部品
- 塗料調色タンク
- 自動車部品
リフトオフ装置
有機物の除去やレジストのメタル除去
主に有機物の除去やレジスト上のメタルを除去するリフトオフプロセスに使用する設備(枚葉式、量産向け)です。
ウエハの状態(剥離しにくい、傷つきやすい、割れやすい)に合わせ、各工程で仕様を選定し、装置のカスタマイズが可能です。
カスタマイズ例
- ローダー
- 剥離槽
- リンス槽
- スピンチャンバー
- アンローダーなど
金属膜剥離の様子
Jetチャンバー
反転槽
各種洗浄装置に関することなど、
お気軽にお問い合わせください
電子機器部
