機械 / 半導体・自動化関連

エッチング・成膜装置

半導体製造の分野では、各工程を総合的に捉えた高度なワンストップソリューションを提供しています。

シリコン深掘り装置

シリコン深掘り装置

量産対応のMEMS、半導体製造用シリコン深掘り装置 ボッシュプロセスに独自技術を加えて確立

特長

  • 高アスペクト比エッチング
  • 高速エッチング
  • TSVエッチング
  • 円柱形状構造

化合物、酸化膜エッチング装置

化合物、酸化膜エッチング装置

RFデバイス、パワーデバイス、光デバイス用の化合物半導体材料、難エッチング材料向けエッチング装置

特長

  • GaNエッチング
  • SiCエッチング
  • LiNbO3エッチング
  • シリコン酸化膜[SiO2]エッチング(光導波路用など)
  • 窒化膜[SiN]エッチング
  • 有機膜エッチング

酸化膜、窒化膜成膜装置

酸化膜/窒化膜成膜装置

厚膜シリコン酸化膜、低ストレスシリコン窒化膜形成用プラズマ成膜装置

特長

  • シリコン酸化膜[SiO2]の厚膜成膜
  • 低ストレス窒化膜[SiN]の成膜
  • AI配線上への酸化膜
  • TSVへのシリコン埋め込み酸化膜

エッチング・成膜装置に関することなど
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