機械 / 半導体・自動化関連
スピンドライヤー・
テープマウンター
半導体製造の分野では、各工程を総合的に捉えた高度なワンストップソリューションを提供しています。
スピンドライヤー
設計コンセプトは「高速」「低振動」「低発塵」
自動バランス調整機能付きスピンドライヤー
回転による遠心力と吸引される気流の作用によりウエハ上の水滴および水分を乾燥させる装置です。
バランシング技術とワークの乾燥効率を最も高めた気流制御により、繊細なワークもクリーンかつ安全に乾燥させることができます。
製品仕様
| 対象ウエハ | 4～8インチ | 12インチ | |
|---|---|---|---|
| クレードル数 | 2 or 4個 | 1 or 2個 | |
| 回転速度 | Max 1,000rpm | Max 700rpm | |
| 電力 | AC200V 3-Phase 50/60Hz 30A | ||
| フィルター | ULPA or HEPA | ||
| イオナイザー | 標準仕様 | ||
| 速度設定 | 1 or 2段階 | ||
| 材質 | ローター、クレードル：SUS316L(電解研磨) 外装ケース：PVC |
||
| 安全性 | 異常振動時および過負荷運転時 自動停止 |
フルオートバランサー機能
ウエハのアンバランス枚数が、片側25枚で、片側が0枚でも、振動せずにローターを回転させることができます。
これにより、ウエハのセット枚数がどのような状態でも通常と同じ状態で乾燥作業を行うことができます。
テープマウンター
高精度貼付とプリカット機構内蔵によるテープコストダウンを両立
マウンターの装置内でロールテープのプリカット加工を行うことによりプリカットの加工費用をゼロに。
プリカットの間隔をゼロにすることでロールあたりの取り数が大幅に増え、通常のロールテープを従来のマウンターで使用する時と比較して最大約40％(廃棄部寸法により変動)テープ加工費用を低減できます。
手動機～自動機まで幅広く対応しています。
仕様
セミオート機
| 対象ワーク | 12インチまで |
|---|---|
| 使用テープ | 幅300mm×最大外径200mm×内径φ76～77mm |
| 貼付速度 | 30秒/枚以下 |
| 貼付精度 | ±1mm |
| 装置寸法 |
|
| 装置重量 | 230kg |
UV照射機
UV硬化型のテープ、フィルムにUVを照射し硬化させる装置
フルオートタイプにはLED仕様、高圧水銀仕様、ブラックライト仕様を、マニュアルタイプにはブラックライト仕様を用意し、開発・生産計画に応じたさまざまな紫外線照射装置をラインアップしています。
任意の積算光量を照射する積算照射モード、任意の時間で照射させる照射時間モードといった2つのモードがあり、設定した条件でUVを照射することが可能です。
仕様
フルオート機
| 対応サイズ | 8～12インチ |
|---|---|
| 寸法 |
|
| 重量 | 約250kg |
| 駆動エア | 0.4～0.5MPa 65L/min |
| UV照度 | 9mW/cm²以上 |
| N2 | 0.4～0.5MPa 100L/min |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 30A |
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