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| ■自然冷媒「エコフリーズ」 |
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ノンフロン冷蔵庫の冷媒として家電メーカーに広く採用されているイワタニの「エコフリーズ」。オゾン破壊係数ゼロ、地球温暖化係数が低いなど優れた特質を持つ、地球にやさしい自然冷媒です。 |
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| ■燃焼式除害装置「ダイナガードＦ」 |
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半導体製造プロセスで使用されるフッ素系のガスPFCは、地球温暖化係数が非常に高く、完全な処理が求められます。「ダイナガードＦ」は、PFCをはじめ半導体製造プロセスで使用する可燃性や毒性をもった特殊ガスを、イワタニ独自のガス燃焼筒構造で、安全に処理・排出する燃焼式除害装置です。 |
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| ■ClF3 |
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半導体製造装置内部のクリーニング作業を自動化し、装置稼働率の大幅向上を可能にしたノンプラズマクリーニングガス。常温でもクリーニング能力をもつため適用範囲が広く、オゾン破壊係数ゼロ、地球温暖化係数ゼロ（CO2基準）の優れた特性を持っています。 |
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