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2000/12/01  
フッ素系地球温暖化ガスPFCの燃焼式除害装置
「ダイナガードFシリーズ」を開発・発売
2000/11/29  
濃縮吸着法による世界初の「超高濃度オゾン連続発生装置」の商品化に成功
極薄シリコン酸化膜等の先端半導体デバイス開発研究・量産プロセス向け
2000/11/24  
世界初!高精度・低メタルコンタミのH2Oベーパライザー・ユニットを開発