岩谷産業株式会社
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2001年12月03日(月曜日)

半導体などの不良製品発生低減を目的に不活性ガス中の酸素濃度10ppb値の連続監視モニター「ピュアシーカー」と、その機能に精製ラインへの切替機能を付加した「ピュアガード」の2機種を発売

岩谷産業株式会社

セミコンジャパン2001」で公開、本格受注活動開始


岩谷産業株式会社(本社:東京・大阪、社長:牧野明次、資本金:200億円)は、
半導体メーカーなどの生産ライン上で大きな課題となっている不活性ガス中の酸素検出に関連してppbレベルの微量酸素検出専用機「ピュアシーカー」と、高感度微量酸素検出モニターに精製ラインへの切替機能を組み込んだ「ピュアガード」の2機種を商品化、発売します。
この2機種は、12月5日から開催の「セミコンジャパン2001」で公開します。
両機種に共通する特長は、1)低価格、2)簡便な操作性、3)小型軽量をもとに開発されており、従来、この種の用途に用いられていた高価な微量酸素分析計では、コスト的に困難であったユースポイントごとの設置を可能にします。

一般に貯槽からラインへ供給されるN2やArガスは、消費ポイントではガス純度が常に微妙に変動しており、デバイスへの影響が危惧されています。いわゆる、実際の容器交換時やCE(コルドエバポレーター・低温貯槽)への充填時に作業ミスなどからエアーコンタミ(酸素や水分)が発生します。例えば、半導体メーカーの超高純度窒素ラインでの事前ランニングテストにおいて、数10〜数100ppbの酸素が時折検出され、製品に悪影響を与えている可能性があるとして、微量酸素検出機の設置を望む声が増えています。
「ピュアシーカー」は、微量酸素検出専用機です。従来、この用途には高価な微量酸素分析計が用いられていますが、「ピュアシーカー」なら安価なためコスト的に難しかったユースポイントごとに設置できます。
一方、「ピュアガード」は、品質、コスト、歩留まりなど総合的なライン管理を検討している企業向けに開発しました。微量酸素検出機能に加え、ガス精製技術を組み合わせ、ガス純度不良が発生したとき、自動的にガス供給ラインを精製ラインに切替えてリアクター(ウエハー)の汚染を未然に防止し、不良製品発生率を大幅に減少するハイブリッド型です。同機の設置によりインライン型精製装置の長寿命化が可能になり、ランニングコストの低減も実現できます。

 

【両機種の原理】
(1) モニタリング部:安定化ジルコ二アセンサー

安定化ジルコ二アは、酸素イオンを拡散しやすい固体電解質として知られています。
このジルコ二ア固体電解質を挟むように取付けた両面の電極に電圧を与えると、酸素イオンをキャリアとするイオン電流が流れます。酸素を含んだ雰囲気中にセンサーを置くと、センサー素子に流れ込む酸素量は気体拡散孔で制限されるため、電極にかけた電圧に関係なく、ある一定値を示すようになります。
この性質を限界電流特性と呼びます。この限界電流値は測定雰囲気中の酸素濃度とともに変化し、酸素濃度が低いときは限界電流が近似的に酸素濃度に直接比例します。
つまり、この限界電流の変化を調べることで酸素濃度を知ることができます。

(2) 精製部
用途・流量に合わせたライン型精製装置をセットアップすることが可能ですが、標準仕様として当社はゲッタータイプの精製装置を装備しています。

両機種の開発、商品化は、新コスモス電機株式会社(本社:大阪市)が所有するセンサー技術と、岩谷瓦斯株式会社(本社:大阪市)が所有する超高純度ガス分析・配管技術の結集で実現しました(特許申請中)。

仕様 
「ピュアシーカー」 
・サイズ W380×D230×H220
・重量 約10kg
・電圧 AC100V
・価格 150万円
 
「ピュアガード」 
・サイズ W450×D350×H1000
・重量 約30kg
・電圧 AC100V

 

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