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2000年12月01日(金曜日)

フッ素系地球温暖化ガスPFCの燃焼式除害装置
「ダイナガードFシリーズ」を開発・発売
広報・社会関連部

-独自の燃焼筒構造で大流量処理が可能、メンテナンスも容易-
岩谷産業株式会社(本社:大阪・東京、社長:牧野明次、資本金:200億円)は、このほど半導体の製造プロセスなどで使用されているフッ素系地球温暖化ガスPFC(パーフルオロコンパウンド)に対し、独自の燃焼筒構造(特許出願中)により大流量処理を可能にし、燃料使用量を大幅に低減するとともに、メンテナンスも容易にした燃焼式除害装置「ダイナガードFシリーズ」を開発、「セミコンジャパン2000」(期間:12月6日〜8日、会場:幕張メッセ)への出展を機に、本格発売を開始します。

 PFCは、プラズマエッチングやチャンバークリーニングなど半導体の製造プロセスで多く使用されていますが、地球温暖化係数が二酸化炭素の数千倍から数万倍と高いことから、'97年の地球温暖化防止京都会議(COP3)では温室効果ガスとして排出削減対象ガスに追加指定され、'99年の第3回世界半導体会議では2010年までに「半導体製造工程から排出されるPFC等の絶対量を10%以上削減する」(ただし、削減のベースとなる基準年は日本の場合'95年)という排出抑制目標が設定されています。
 半導体製造用途におけるPFCの排出抑制対策は、短期的にはガスの使用効率化であり、長期的には代替ガスや代替プロセスの開発・導入、新プロセスの開発となりますが、その間は回収・再利用や分解・除去技術が中心になります。

 当社の地球温暖化防止への対応は大きく分けて二つあります。第一は「温暖化への影響の小さいガス、あるいは使用量を減らせるガスを使用する」ことで、地球温暖化係数ゼロの独自開発のCIF3やHF、C2F6比で使用量を45%削減できるC3F8、NF3比でエッチングレートを10〜30%向上できるSuper NF3の使用を提案しています。
 そして第二が「クリーニングガスを大気中に排出させない」ことであり、これを実現するために、これまで培ったガスの燃焼技術を生かしてPFC用に開発したのが、今回発売する燃焼式除害装置「ダイナガードFシリーズ」です。
  
 現在の除害装置には、(1)ウエハーの大口径化に伴う大流量処理、(2)PFCの分解、(3)可燃性・支燃性排ガスを同時処理する、(4)熱分解ゾーンと酸化ゾーンの分離、(5)シンプルな構造などが求められていますが、「ダイナガードFシリーズ」はそれらに応えて開発されたもので、次のような特長を持っています。
  1. 処理ガスの導入ポートから燃焼室を経て排気ポートまでの間に、ガスの流れを遮るものが全く存在しない『バリアフリーコンセプト』を採用することで、メンテナンス頻度を大幅に低減させました。

  2. 燃焼筒の上流側に熱分解ゾーン、下流側に酸化ゾーンを作り出す『ゾーン分離コンセプト』を採用することで、高効率燃焼とイージーメンテナンスを実現しています。
  3. バーナーを高温燃焼ガスが燃焼室内で回転渦流を作るように『トライアングル配置』することで、燃焼室内部の均熱性を高め、除害能力を向上させました。
  4. 吸引空気を燃焼筒の下方から取り入れる独自の構造により、除害能力を落とさずに酸化ゾーンを作り出すだけでなく、装置本体の腐蝕防止、燃焼室や燃焼排ガスの冷却、発生する酸濃度の低減など様々なメリットを手に入れました。

  更に当社では、分解の非常に困難なPFC、CF4の分解に対応した新機種「ダイナガードF2C2(シースクエア)」(仮称)を開発しており、セミコンジャパンへの出展を予定しています。これは高処理効率と低ランニングコストの両立を図った「C2コンセプト」に沿って開発されているもので、小型燃焼室(ヘッド)とマルチヘッド構成が特徴となっています。

●「ダイナガードFシリーズ」のラインナップと主な仕様
形式 F4 F6 F6T
除害能力 200LM
(100LM)
400LM
(200LM)
800LM
(400LM)
吸引風力 5〜10m3/min 10〜20m3/min 20〜40m3/min
外形寸法
(mm)
W 1000
D 750
H 1600
W 1050
D 800
H 1800
W 1600
D 800
H 1800
燃料タイプ LPガス、天然ガス、H2

◆除害能力欄の( )の数値は処理対象ガスにC2F6、SF6が含まれる場合

なお、「ダイナガードFシリーズ」の製造は関係会社の岩谷瓦斯株式会社(本社:大阪、社長:山崎武徳、年商:16億1,900万円)が行います。
当社では、初年度30台、3年後には100台の販売を見込んでいます。


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