岩谷産業株式会社
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2005年12月06日(火曜日)

燃焼式除害装置「ダイナガードFO6シリーズ」販売開始
―製造装置の大型化、PFC・CF4の大流量処理に対応―
岩谷産業株式会社

岩谷産業株式会社(本社:大阪・東京、社長:牧野明次、資本金:200億円)は、半導体・液晶製造工場に向けて、製造装置の大型化への対応と、既設ラインPFCガス排出削減対策用として要望の高かった、難分解性のPFC(パー・フルオロ・コンパウンズ)ガス、CF4(四フッ化炭素)の大流量処理に対応した、燃焼式除害装置「ダイナガードFO6シリーズ」を開発、上市しました。
大画面化が進む液晶製造工場の排気ガス処理、既設工場のPFCガス集中分解用途を中心に営業活動を展開し、2006年度5億円(20台)、2007年度10億円(40台)の販売を見込んでいます。




半導体業界では、2010年に向けて地球温暖化物質PFCガスの排出量削減に取り組んでいますが、その現実的な対応方法として、PFCガス分解装置の導入が進められています。
しかし、新設ラインでは製造装置の大型化に伴いPFCガス使用量が増加していることや、古い既設ラインでは分解に高温が必要なPFCガス、CF4が未だに多く使われており、これらの排気ガスを低コストで分解する装置が求められていました。

従来、この用途には触媒燃焼方式が用いられていましたが、排気ガス中にはシリコン、硫黄といった触媒毒や、目詰まりを発生させる粉体が多く含まれており、メンテナンス頻度、ランニングコストの面で満足できるものではありませんでした。
また、PFCガス分解装置として一般的に使用されている燃焼式、ヒーター式は、高温を必要とする四フッ化炭素の分解用途に対しては大流量への対応が難しく、設置スペース、設置コストの面でユーザーニーズに応えきれていませんでした。

当社はこの問題を解決するため、独自の燃焼筒構造を持つ当社オリジナルの燃焼式除害装置「ダイナガードFシリーズ」をベースに改良を加え、燃焼式除害装置としては初めて、毎分500リットルのCF4を含む排気ガス処理(CF4分解率95%以上)に対応した新機種「ダイナガードFO6シリーズ」の開発を終了し、販売を開始しました。
本装置はすでに、国内液晶メーカーでの採用が決定しています。
 
尚、本装置は12月7〜9日に幕張メッセにて開催される、セミコン・ジャパン2005において発表を行います。

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