岩谷産業株式会社
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2003年03月13日(木曜日)

世界初、シリンダー入りオゾンガスを開発
容器内面の不働態化技術によりオゾン分解を抑制
窒素、アルゴン、炭酸ガスとの混合ガス供給も可能
岩谷産業株式会社


 岩谷産業株式会社(本社:大阪・東京、社長:牧野明次、資本金:200億円)は、これまで難しいとされていたオゾンガスの分解を抑制する技術の確立に成功、世界で初めてシリンダーでのオゾンガス供給を可能にしました。
 
 オゾンガスは、殺菌力や脱臭力に優れ空調分野や食品分野、上下水道などで幅広く使われていますが、近年、医療分野における殺菌・滅菌や電子工業分野などにおける酸化プロセスでの応用へとその用途はますます拡がっています。しかし、オゾンガスは酸素への解離・分解反応が著しく、このため使用される現場でオゾン発生装置を設置し、『使いたいときに』、『使いたい場所で』、オゾンを発生させ、そのオゾンは『その場で直ちに使う』という「オンサイト」供給しか手段はありませんでした。
このように、オゾンガスの供給はオゾン発生装置に依存するしかなく、簡便なシリンダー入りオゾンガスとして入手できないことが最大の課題で、お客様からシリンダーによる供給の要望が高まっていました。

 当社ではこうしたお客様の要望に応えるため、当社の滋賀技術センターが10年前より研究・開発に取組んできた独自の濃縮技術によって得られた高濃度オゾン利用技術を基盤にし、シリンダー入りオゾンガスの製造を可能にしました。
この基盤技術によって、通常シリンダー内では数時間ですべて酸素に分解してしまうオゾンガスの寿命を、大幅に延長させることができます。たとえば、常温下において1ヶ月間保存した場合でも、初期オゾン濃度の減衰率は20%以下に留まります。また、低温にすることでさらにオゾンの長寿命化を実現できます。

 当社の基盤技術とは、独自技術によって製造される高濃度オゾンを利用して、金属表面を緻密な酸化膜に改質(不働態化)することにより、金属の耐食性を大幅に向上させ半導体製造工程などにおけるパーティクル(微細なゴミ)の発生を著しく低減させたり、オゾン供給システム内でのオゾン分解を抑制する表面処理技術です。
この処理技術を用いてステンレス製シリンダーの内面を不働態化することにより、シリンダー内オゾンガスの分解を抑制できるのです。

 ところで、従来の放電方式のオゾナイザーでは、高純度酸素ガスを原料として用いた場合、高効率でオゾンを発生することができず、一般的には効率を向上させるため、高純度酸素ガス中に高純度窒素ガスを0.2〜2%混合させています。その結果、生成したオゾンガス中には10〜100ppm程度のNOX(NO、NO2ガス等)が含まれます。
一方、当社が独自に開発したオゾンガス製法の特長は、原料酸素に窒素を添加していませんので、シリンダー入りオゾンガスには、NOXは全く含まれていません。その上、高濃度オゾンを希釈することで、オゾン発生装置では不可能であった窒素、アルゴン、炭酸ガスなどの不活性ガスとの混合ガスとして供給することも可能となります。さらに、オゾン濃度や他のガスとの混合比を任意に選ぶことが可能です(特許申請中)。


●シリンダー入りオゾンガスの概要
 ・オゾン濃度:5%以下(残り95%はO2、N2、CO2、Arなどから選択可能)
 ・充填圧力  :0.9 MPa以下
 ・容器材質  :ステンレス
 ・容器容量  :100cc〜40リットル

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