ニュース

岩谷産業株式会社(本社:大阪・東京、社長:野村雅男、資本金200億円)は、電場(電界)を利用したエリア除電システムを開発、このほど販売を開始しました。この技術は、これまでのワーク(製品)に帯びる静電気を除去するという概念を払拭、作業空間自体を、静電気を発生させない空間にするという画期的なものです。空間に漂うほこり(パーティクル)に帯電する電荷を中和除去し、半導体、太陽光パネル、液晶ディスプレイなどの製造工程でのウエハーやガラス基板上に静電付着するほこりを大幅に低減できるとともに、クリーンルームのランニングコストも大きく低減することが可能になります。

■開発製品概要

空気中に漂うほこり(パーティクル)は、通常静電気を帯びて(正負のどちらかに帯電して)いますが、種々の製造現場では、ワーク(製品)の帯電状態と相まって、このほこりが電気的に吸着(静電吸着)しやすくなっており、どの現場でもその対策に苦慮しています。
従来は、イオナイザーと呼ばれるようなコロナ放電にて大量のイオンを作り、送風してワーク(製品)に吹き付けることによって、ワーク(製品)自体の帯電を中和除去する「局部除電」が主流でした。
当社が開発した除電技術は、ワーク(製品)を対象にするのではなく、作業空間に着目したもの。強い電場(電界)を発生させて空気中に大量のイオンを生成し、そのイオンにより空間を漂うほこり自体の静電気を除去する「エリア除電」という発想に基づいた極めて斬新で業界初の技術です。

■システム構成と特長

システムとしては、電場(電界)を発生させるワイヤー電極、ワイヤー電極に電圧を印加する電圧印加器を基本構成としています。正負の極性をもつワイヤー電極を一対として、除電する部屋の上部(天井部)に複数組を配設して電場(電界)を発生させることで、ワイヤー直下の空間を除電することが可能になります。
具体的には、交流100Vを直流10kVに昇圧し、電場(電界)を放出する+/-の高電圧ワイヤーをそれぞれ室内に張ります。そして、数秒から数十秒間隔で+/-を交互に切り替えることにより、正負のイオンを空間に満遍なく大量に発生させることができます。10kVという高圧ですが、電流はほとんど流れないため安全で、また、電場(電界)は人体にも影響は与えないとされています(WHOの公式見解)。
この除電空間において、滞留する帯電した空中浮遊ほこり(パーティクル)を中性化します。その結果、沈降しやすくなり浮遊粉塵量の低減効果をもたらします。この粉塵がワーク(Siウェハー、ガラス基板など)に落下しても静電吸着しません。また、低湿度でも除電が可能なため、クリーンルームなどで過大なエネルギーを投じて行われている湿度コントロールが不要になることも大きなメリットとなります。

●補足資料(PDF)