オゾンパッシベーション®
メタルコンタミネーションの削減、パーツのメンテナンス頻度の削減に寄与することが可能な岩谷産業オリジナル技術である『オゾンパッシベーション®処理』を提案致します。
オゾンパッシベーション®とは
ステンレスを50%以上の高濃度オゾンに常温(室温)で暴露するだけで表面処理が完了する画期的な技術です。
本技術は、ステンレス及びアルミ表面に緻密な不働態酸化膜形成を可能にします。
1. 耐腐食性の向上、すなわちパーティクル発生量の低減
2. オゾン分解反応の抑制(オゾン濃度維持)
3. 半導体製造装置における副生成物や食品製造装置におけるタンパク質など汚れ成分の付着抑制
4. 真空排気特性(ビルドアップ特性)の改善
5. 高品質な液体ユーザー向けの、液体への溶出金属量の低減
を目的に用いられており、効果を発揮しております。
特長

処理品の形状を問いません。
オゾンガスによる常温処理のため、処理品の加温は必要ありません。
テフロン・ダイフロンが存在しても処理可能です。
配管溶接部にも有効です。
オゾンパッシベーション®モデル図

オゾンパッシベーション®モデル図 高濃度オゾンを暴露することにより、ステンレス表面の自然酸化膜を改質いたします。
ClF3暴露による耐食性の比較

未処理画像 オゾン処理画像 オゾンパッシベーション®処理品には腐食生成物が認められない。
(サンプル(SUS316LEP)はClF3を160℃で90分暴露したもの。倍率50000倍の電子顕微鏡写真。)
未処理
オゾン処理
メタルコンタミネーション発生の抑制
デザインルールの微細化に伴い問題となる微細なコンタミネーション。ガス供給配管にオゾンパッシベーション®を施すことにより、各種ガスにおいてメタルコンタミネーション発生量が未処理品に比べ大幅に削減されました。

グラフ
処理方法
受託処理(ワークの預り処理)と出前処理(ユーザーへの出張処理)があります。

※「オゾンパッシベーション」は岩谷産業の登録商標です(商標登録第5924485号)。