事業概要
我々アドバンスガス部は4つの視点(環境貢献、微細化、安全の確保、コスト削減)をもち、エレクトロニクス産業との共働をモットーに、他社にないユニークな商品を市場に提案してまいりました。特にクリーニングガスにおいてはオリジナル商品であるClF3を生み出し、半導体産業に大きな貢献をしています。
また世界に類のない高濃度オゾンガスを用いた金属表面処理技術オゾンパッシベーション®も開発し、半導体産業のクリーンニーズにもお応えします。